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日本進(jìn)口ulvac愛(ài)發(fā)科低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U22WB
產(chǎn)品型號： CRYO-U
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。
根據FPD、半導體、電子設備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。
日本進(jìn)口ulvac愛(ài)發(fā)科低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U22WB
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 13,000 |
| 氫 | 16,500 | ||
| 氬氣 | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 極限壓力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流量 | 氬氣 | 帕?升/秒(托?升/秒) | 3.5×10 3（26） |
| 氫 | 1.3×10 3 (9.6) | ||
| 泵送能力 | 氬氣 | 帕?升(托?升) | 8.1×10 8 (6.1×10 6 ) |
| 氫 | 8.5×10 6 (6.4×10 4 ) | ||
| 冷卻時(shí)間 （電源循環(huán)） | 小值(Hz) | 165/150（50/60） | |
| 安裝法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機組 | C30PMVRT ×1 | ||
| 重量 | 公斤 | 125.0 | |
*保養間隔：16,000小時(shí)
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