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產(chǎn)品簡(jiǎn)介： MS系列真空泵屬于螺桿式干式真空泵。這是一款耐過(guò)程干式真空泵，在傳統LS 系列的基礎上改進(jìn)了耐腐蝕性和粉末排放性能。設計用于涉及腐蝕性氣體或粉末抽真空的真空工藝。 特征 對轉子軸、筒體等主要部件進(jìn)行特殊的表面處理，具有較高的耐腐蝕性。 ULVAC 獨特的螺桿式轉子軸設計實(shí)現了高粉末排出性能。 可在從大氣壓到極限壓力的整個(gè)壓力范圍內連續運行。 目的 電子零件、半導體制造設備用真空排氣系統 蝕刻設備、灰化設備、等離子清洗設備等 真空熱處理爐、真空抽氣系統 燒結爐、滲碳爐等。 鋰電池制造設備真空排氣系統 電極干燥設備、消泡設備、注液設備等 醫療及食品相關(guān)設備真空排氣冷凍干燥設備 、真空干燥設備等。 *MS1200A 可單獨購買(mǎi)，并添加控制板和傳感器。請聯(lián)系我們。