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日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科RLS1200A
產(chǎn)品型號：RLS1200A
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
C 型：潔凈工藝（LS***AC）
特點(diǎn)：低功耗型號（內置 ECO-SHOCK）
應用：用于空氣和 N2 G14 濺射/氣相沉積/
層壓/負載鎖室/TMP 前級泵等潔凈工藝。
L型：輕工藝（LS***AL）
特點(diǎn)：輕工藝型號（附表面處理和清洗功能）
用途：用于蒸汽和揮發(fā)性藥液等輕工藝 / 真空干燥 /
冷凍干燥 / 灰化 / 一般工業(yè)用途等。
日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科RLS1200A
| 模型 | ?。–：C型） ?。↙：L型） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| C | 大號 | C | 大號 | C | 大號 | C | 大號 | |||
| 抽速 | 立方米/小時(shí) | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |||||||
| 電源 | 200V級：3相,50/60Hz,AC200-240V或400V級：3相,50/60Hz,AC380-480V | |||||||||
| 功耗*1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷卻水 流量 | 升/分鐘 | >2.0 | >4.0 | |||||||
| 吹掃氣體流量 *2 | 空間光調制器 | ? | 0～50 | ? | 0～50 | ? | 0～50 | ? | 0～50 | |
| 耐水蒸氣性 *3 | 公斤/小時(shí) | ? | 1.5 | ? | 1.5 | ? | 1.5 | ? | 1.5 | |
| 噪音 *1 | 分貝(聲級) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 進(jìn)氣口 | 進(jìn)氣口 KF50(水平)／ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 出水口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | ||||||
| 重量 | 公斤 | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 適用標準 | CE、cTUVus | |||||||||
| 標準附件 | 電源連接器、防水線(xiàn)夾、遙控連接器、電源連接器防護裝置 | |||||||||
| 泵頭選項 | 電源：200V級或400V級，密封材質(zhì)：FFKM(僅L型) | |||||||||
| 外部選項 | MBP 入口法蘭適配器、封裝排氣口、防震支架、LR 兼容 單元（入口、遠程）、吹掃氣體閥 | |||||||||
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