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日本進(jìn)口ulvac愛(ài)發(fā)科UR600多級羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號：UR600
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
均勻高溫分布泵HR 系列泵設計用于保持均勻高溫，適用于需要加熱泵、加熱氣管線(xiàn)和/或加熱排氣管線(xiàn)的應用UR 系列泵能夠保持比 HR 系列更高的溫度。卓越的氦氣泵送能力，封閉式電機，安全且易于維護。電源故障保護泵可承受長(cháng)達 1000 毫秒的電源中斷。卓越的耐腐蝕性?xún)炔拷M件經(jīng)過(guò)特殊處理，具有高表面硬度和耐腐蝕性。這可防止泵內部零件在暴露于腐蝕性氣體時(shí)發(fā)生磨損和腐蝕。通訊功能可以導出包括警告和警報在內的泵數據?？蛇M(jìn)行廣泛的泵控制。
日本進(jìn)口ulvac愛(ài)發(fā)科UR600多級羅茨干式真空泵
高溫分布均勻?？蓪VD、蝕刻工序產(chǎn)生的升華物以氣態(tài)排出。
均勻高溫分布泵 的氦氣泵送能力， 電源故障保護 的耐腐蝕性 通訊功能特征
HR 系列泵設計用于保持均勻高溫，適用于需要加熱泵、加熱氣管線(xiàn)和/或加熱排氣管線(xiàn)的應用
UR 系列泵能夠保持比 HR 系列更高的溫度。
封閉式電機，安全且易于維護。
泵可承受長(cháng)達 1000 毫秒的電源中斷。
內部組件經(jīng)過(guò)特殊處理，具有高表面硬度和耐腐蝕性。這可防止泵內部零件在暴露于腐蝕性氣體時(shí)發(fā)生磨損和腐蝕。
可以導出包括警告和警報在內的泵數據?？蛇M(jìn)行廣泛的泵控制。
CVD 設備 蝕刻設備 灰化設備 ALD、ALH等應用
UR421-T 5.0帕 VG80(NW80) VG100(NW100) VG150(NW100) VG150 NW40 NW50 *1：UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT 均應在 200Pa (1.5 Torr) 以下運行。規格
模型 UR421-T UR600 UR1200 UR1800 UR3601-TT 泵 決策支持系統 UR90 UR90 UR180 UR421-T 骨髓移植 - PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C-T
抽
速50赫茲 410 立方米/小時(shí)
（6833 升/分鐘）653 立方米/小時(shí)
（10883 升/分鐘）1012 立方米/小時(shí)
(16867 升/分鐘)1701 立方米/小時(shí)
（28350 升/分鐘）2700 立方米/小時(shí)
（45000 升/分鐘）極限壓力 入口壓力 大氣壓*1 排氣壓力 1.0至大氣壓Pa 入口直徑（CE型） VG100 出口直徑 VG50 重量 415公斤 370公斤 403公斤 553公斤 720 公斤 力量 三相 180～240VAC/
380～440VAC
（50/60赫茲）200 VAC（50/60 赫茲）/220 VAC（60 赫茲） 180～240VAC/
380～440VAC
（50/60赫茲）當前的 在極限壓力下 23 A（200V 時(shí)） 16.4A（200V 時(shí)） 18.9 A（200 V 時(shí)） 29.2 安培（200 伏時(shí)）
20.5 安培（400 伏時(shí)）39.8 A（200V 時(shí)）
20.5 A（400V 時(shí)）
負載時(shí)52.5A（200V 時(shí)） 17.3 A（200V 時(shí)） 22.4 A（200 V 時(shí)） 34.9 安培（200 伏時(shí)）
40.5 安培（400 伏時(shí)）68.3 安培（200 伏時(shí)）
40.5 安培（400 伏時(shí)）冷卻水
供給壓力0.2~0.5兆帕 0.1~0.3兆帕 0.2~0.5兆帕 冷卻水進(jìn)/
出壓差>0.2兆帕 >0.1兆帕 >0.1兆帕 >0.1兆帕 >0.2兆帕 冷卻水流量 >5.0 升/分鐘 氮氣 供給
壓力0.1~0.5兆帕
壓力調節0.05~0.1MPa N2 吹掃 軸吹掃 5 級 氣鎮流器 0~195 秒 0~45秒 0~195 秒 0~195 秒
* 如果您需要此規格列表中未列出的 UR 系列，請與我們聯(lián)系。
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