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日本進(jìn)口新宇宙XP-703DIII 半導體材料氣體檢測
產(chǎn)品型號：XP-703DIII
產(chǎn)品品牌：日本COSMOS
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 檢測對象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3 檢測濃度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm 檢測原理 熱線(xiàn)型半導體式 采樣方式 自動(dòng)吸引式 應用行業(yè) 半導體制造

日本進(jìn)口新宇宙XP-703DIII 半導體材料氣體檢測

測對象氣體 


半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） 


檢測原理 


熱線(xiàn)型半導體式 


采樣方式 


自動(dòng)吸引式 


檢測氣體名稱(chēng)


砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣 


AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2 


可檢測小濃度


（單位：ppm）


0.2     0.3     0.1        0.5        1.0


檢測表示 


蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍


應答速度 


10秒以?xún)?nbsp;


尺寸


W38×H130×D30mm


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