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simco進(jìn)口日本電離器型號4214在線(xiàn)離子發(fā)生器
產(chǎn)品型號：4214
產(chǎn)品品牌：
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
支持超低顆粒 采用單晶硅電極。獨特的清潔機制，不會(huì )向外部釋放顆粒，確保長(cháng)時(shí)間穩定的清潔度采用智能控制電路，無(wú)需任何調節內置傳感器持續監控離子產(chǎn)生，實(shí)現可靠的靜電控制器、電源 內置集成自動(dòng)高壓關(guān)斷功能在低流量時(shí)保護產(chǎn)品適用于先進(jìn)的半導體制造工藝
和其他超低顆粒應用24V DC 驅動(dòng)
simco進(jìn)口日本電離器型號4214在線(xiàn)離子發(fā)生器
simco進(jìn)口日本電離器型號4214在線(xiàn)離子發(fā)生器
| 輸入電壓 | 24V DC+/-5% 6W（典型值） |
|---|---|
| 離子平衡 | <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接 |
| 靜電消除時(shí)間 | <10秒 150毫米距離 40LPM 無(wú)管道 +/-1kv → +/- 100v 通過(guò)帶電板監視器 |
| 離子發(fā)生方式 | 電暈放電方式 高頻交流方式 |
| 清潔度 | ISO Class1，0.1 微米 “擴展 ISO Class1，10nm”* |
| 電極 | 單晶硅可更換 |
| 相應的吹掃氣體 | 氮氣 > 99.998% |
| 流量 | 40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa) |
| 吹掃壓力 | 207Kpa（=100LPM流量） |
| 氣體溫度 | 60攝氏度 |
| N2 吹掃連接 | 世偉洛克 3/8" 外徑管道 |
| 電離 N2 連接 | 世偉洛克 1/2" OD 管道連接，帶 1/4NPT 內螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC |
| 工作溫度限制 | 15至60攝氏度 |
| 信號輸出 | 開(kāi)/關(guān)觸點(diǎn)報警和低離子輸出 |
| 尺寸 | 長(cháng) 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm 不包括管道 |
| 重量 | 640克 |
| 外部的 | 不銹鋼 |
| 安裝方法 | 背面M5螺絲 螺絲長(cháng)度必須小于10mm |
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