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ekasuga真空兼容靜電電位傳感器KS-3101
產(chǎn)品型號：KS-3101
產(chǎn)品品牌：日本春日機電
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
由于減少靜電的氣體成分在真空中很稀薄，靜電引起的生產(chǎn)問(wèn)題比常壓環(huán)境下更嚴重，真空兼容靜電勢傳感器使用可承受在真空環(huán)境中使用的材料和組件，可用于測量真空中產(chǎn)生的靜電。用它來(lái)確定真空過(guò)程中產(chǎn)生靜電的原因，并持續監測靜電勢。
ekasuga真空兼容靜電電位傳感器KS-3101
大氣壓和真空下的線(xiàn)性度
該圖顯示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意電壓測量帶電板的電位的結果。即使在不同的壓力環(huán)境下（真空下10-3Pa，大氣壓下10+5Pa），無(wú)需校準也能得到相等的測量值。
*此數據為實(shí)測值，并非保證值。
使用真空兼容靜電勢傳感器測量對真空室的影響
脫氣分析比較
對傳感器放出的氣體的分析證實(shí)，氣體的主要成分是水和微量碳氫化合物。由于每個(gè)峰值與背景中測量的峰值相同，因此認為它源自環(huán)境中吸附在傳感器表面上的氣體。
●極限真空的比較
排氣系統：渦輪分子泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.制造
排氣速度：220L/sec(N2)
腔室尺寸：φ300×L 300mm
*此數據為實(shí)測值，并非保證值。
規格
| 模型 | KS-3101 |
|---|---|
| 檢測方法 | 振動(dòng)表面電位傳感器 |
| 推薦真空度 | 10 5 Pa（大氣壓力）、10 -1至10 -5 Pa |
| 測量范圍 | HIGH量程：0～±20.0kV（測量距離100mm） LOW量程：0～±2000V（測量距離10mm） |
| 測量精度 | ±10%以?xún)?/span> |
| 警報 | 檢測傳感器故障LED顯示 |
| 使用環(huán)境 | 溫度0-40℃，濕度65%以下（無(wú)結露） |
| 大量的 | 約 130g（不包括電纜和控制盒） |
| 配置要領(lǐng) | 真空電纜：KS-3101-C01（電纜長(cháng)度1m，可延長(cháng)） 控制箱：KS-3101-B05（帶大氣側電纜5M，可延長(cháng)） 控制器：KSD-0110 或 KSD-0120 |
*真空法蘭需客戶(hù)自備。
作品
控制器
支持觸摸屏和SD卡的高性能型
強調可見(jiàn)性的簡(jiǎn)單類(lèi)型
*請在各自的頁(yè)面上查看控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 的規格。
各部分尺寸/名稱(chēng)
（1）測量單元（
2）調零單元（
3）外殼（不銹鋼鏡面）（
4）安裝墊片（鐵氟龍）（5）
量程選擇開(kāi)關(guān)（
6）運行/故障指示燈
（7）充電指示燈(0, +, -) (
8) 專(zhuān)用電纜（帶連接器）
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