服務(wù)熱線(xiàn)
400-850-5208
產(chǎn)品展示PRODUCTS
日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統
日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統
常規的振動(dòng)位移檢測集中在從加速度(m / s 2)或速度(m / s)到位移的轉換。然而MEMS(微機電系統)或壓電元件的應用的致動(dòng)器通常是那些表現為矩形的驅動(dòng)和直流偏移,在位移轉換的正確位移測量通過(guò)在現有的加速度傳感器的積分處理和激光多普勒振動(dòng)計這是不可能的。
激光干涉位移計LV-2100A是1兆赫處于卸載,非接觸取樣MEMS和壓電元件小和高速振動(dòng)位移,高位移分辨率0.155納米,可以直接從DC檢測。激光光斑直徑小至φ1.5μm,空間分辨率高。
數字位移輸出的分辨率范圍相關(guān)分辨率沒(méi)有降低(與模擬輸出相比)。
各種硬件和軟件組,如FFT分析儀和“Oscope / Oscope Professional時(shí)間序列分析工具”,包括可選的位移分析軟件(LV-0930),支持更有效的測量和分析。
特點(diǎn)
位移分辨率0.155 nm隨著(zhù)
振動(dòng)頻率的增加,位移也會(huì )減小,因此難以用傳統的激光位移計進(jìn)行測量。LV-2100A可以檢測0.155 nm分辨率的位移。
高達1 MHz的高速采樣
LV-2100A通過(guò)1 MHz的高速采樣檢測振蕩位移。利用0.155nm分辨率的性能,可以檢測待測量的寬物體從一般機械振動(dòng)到MEMS和壓電元件的振蕩位移。
數據是模擬和數字輸出LV-2100A可以輸出
模擬電壓和數字數據的檢測數據。模擬位移輸出為DC - 100 kHz,數字位移輸出通過(guò)USB 2.0高速傳輸到PC??梢粤⒓丛赑C上處理數字數據,而不受傳輸錯誤和阻抗的影響。
使用CCD相機輕松檢測微小物體
通過(guò)安裝可選的視頻觀(guān)察裝置(LV-0180),LV-2100A可以在檢查激光束同軸位置的照射位置的同時(shí)工作。這樣,可以將激光地定位和照射到小部件和小部件上。通過(guò)安裝可選的物鏡(LV-0155),可以增加觀(guān)察倍率并將激光光斑縮小到φ3μm。
豐富的數據分析工具,硬性和軟性
LV-2100A可以輸出所有位移數據作為數字數據。通過(guò)使用可選的位移分析軟件(LV-0930),LV-2100A檢測到的振動(dòng)位移數據可以從疊加到大的位移到微小的位移進(jìn)行測量。還可以通過(guò)將位移數據轉換為速度和加速度來(lái)進(jìn)行分析。此外,時(shí)間序列分析工具選項“Oscope 2”可以進(jìn)行各種分析,如FFT分析,速度,加速度轉換。結合FFT分析儀,我們還可以啟用豐富的多功能軟件,以數字方式處理微小位移并提取信號,直到數字處理振動(dòng)位移波形和頻率分析。
*需要位移分析軟件“LV - 0930”才能在PC上接收數字數據。
※Oscope 2將以CSV格式導入。
傳感器單元
檢測解調方法 | 通過(guò)光學(xué)外差檢測進(jìn)行位移解調 |
---|---|
光源 | He-Ne激光(波長(cháng)632.8 nm) |
退出燈輸出 | 1 mW或更低(符合FDA 2的JISC 6802標準) |
焦距 | 100毫米?∞ |
測量范圍 | 使用反光帶(LV-0012):使用±10 mm 角隅棱鏡:±5 m |
激光光斑直徑 | 焦距100毫米,φ20微米或更小 |
鏡頭部分 | 可在可設定范圍內任意設定手動(dòng)設定 |
顯示單元 | ●干擾電平指示:10段LED條 ●檢測ERROR指示:紅色LED亮 |
主傳感器固定孔 | M8×1(Helisert強化) |
輔助固定孔 | M4×2(Helisert強化) |
信號線(xiàn) | 長(cháng)度3米 (電纜彎曲半徑:50毫米或更小,電纜殼體::阻燃UL認證材料PVC黑色) |
塊 | 500克(不含電纜) |
位移轉換單位
模擬輸出 | 模擬輸出 | ±10 V(輸入阻抗為100kΩ或更高) |
---|---|---|
截止頻率 | DC:DC至100 kHz(fc = -3 dB) AC:0.3 Hz至100 kHz(fc = -3 dB) | |
線(xiàn)性 | ±0.1%/ FS | |
模擬紋波 | 2 mVp-p或更低 | |
輸出阻抗 | 50Ω(小輸入阻抗100kΩ或更高) | |
輸出端子 | BNC(二氧化碳型) | |
模擬位移范圍 | 測量速度 | 5.0米/秒(所有范圍) |
范圍指示 | 選擇范圍顯示7段LED | |
設定范圍 | 范圍測量范圍模擬小分辨率數字分辨率0.1 mV±1μm0.15納米0.155nm1μm/ V.±10μm0.3納米5μm/ V.±50μm1.5納米10μm/ V.±100μm3納米100μm/ V.±1毫米30納米2毫米/ V.±20毫米618納米0.1米/伏±1.0米30微米0.5米/伏±5.0米154微米1米/ V.±10米309毫米 | |
范圍超過(guò)顯示 | 紅色LED亮度超過(guò)100% | |
重置指示 | 位移零重置操作·輸入時(shí)綠色LED亮起 | |
采樣頻率 | 模擬輸出:1 MHz固定 數字輸出:通過(guò)可變地位移分析軟件(LV-0930) (1兆赫,500千赫,200千赫,100千赫,50千赫,20千赫,10千赫,5千赫,2千赫茲,1千赫,500赫茲,200赫茲, 100赫茲,50赫茲,20赫茲,10赫茲,5赫茲,2赫茲,1赫茲,0.5赫茲) | |
數字輸出 | USB Ver.2.0(全速) 連接器類(lèi)型:迷你B型 | |
EXT信號輸入 | 位移零重置信號輸入/ TRIG信號輸入
| |
SYNCHRONOUS信號輸入/輸出 | 同步連接器(連接兩個(gè)時(shí))
|
激光單元
探測器靈敏度切換 | 滑動(dòng)開(kāi)關(guān)3步切換 |
---|---|
監視輸出 * 輸出干擾電平作為電壓輸出 | 模擬輸出:0至10 V 輸出阻抗:50Ω或更小 輸出端子:BNC(CO 2型) |
顯示單元 | ●干擾電平指示:20段LED條 ●激光狀態(tài)指示::激光輻射時(shí)綠色LED亮起 ●ERROR指示:測量錯誤時(shí)紅色LED亮起 |
存儲 | 傳感器可伸縮,電纜可重繞 |
安全鎖 | 關(guān)閉激光光路(短路激光輻射),無(wú)電壓1a接觸輸入 |
使用的電源 | AC 100至240 V 50/60 Hz |
功耗 | 70 VA或更低 |
工作溫度范圍 | -5至+ 40°C |
工作濕度范圍 | 相對濕度為30%至80%(無(wú)結露) |
儲存溫度范圍 | -10至+ 50°C |
塊 | 身體:12公斤(包括傳感器) |
外部尺寸 | 393(W)×222(D)×135(H)mm |
符合性標準
本儀器根據以下標準進(jìn)行設計和檢查。
“JIS C 6802(激光產(chǎn)品的輻射安全標準)”
“IEC 60825-1:2007”“FDA(CDRH)”
“FCC(第15 B部分)”“加拿大EMI法規(ICES - 003)”