HONDA本多石英振動(dòng)式超聲波清洗機W-357-1MQB-SKC的使用和介紹

石英振動(dòng)超聲波清洗機首次使用將超聲波疊加到石英振動(dòng)體進(jìn)行半導體精密儀器清潔，可以減少化學(xué)藥品的使用，滿(mǎn)足低損傷清洗，大面積清洗、斜面端的清洗等。

清洗損壞程度低的細分圖案晶片

■通過(guò)在石英振動(dòng)體上疊加超聲波來(lái)清洗半導體晶片

通過(guò)將化學(xué)溶液浸入半導體晶片中并通過(guò)石英玻璃傳播超聲波振動(dòng)，接觸部分處的化學(xué)溶液振動(dòng)，并且加速作用去除了表面上的污垢。

■實(shí)現清潔清洗，對半導體晶片的損壞很小

與使用諸如包裝之類(lèi)的橡膠材料的設備相比，通過(guò)使用化學(xué)溶液將石英用于潤濕部件，可以實(shí)現清潔清潔，而不會(huì )洗脫或磨損橡膠。

■由于具有振動(dòng)器冷卻功能，因此與標準產(chǎn)品相比，最大輸出增加了2.4倍。

通過(guò)用氣體（氮氣等）冷卻振動(dòng)器，可以實(shí)現穩定的連續運行而不會(huì )出現頻率波動(dòng)。
此外，通過(guò)冷卻，溫度不會(huì )突然變化，并且可以延長(cháng)使用壽命。

采用

去除殘留物
磨邊后，灰化后去除聚合物
柵電極清潔
CMP后的清潔

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石英振動(dòng)式超聲波清洗機W-357-1MQB-SKC